超精密光學被動元件自動量測，實現 3σ ≤ 0.2 μm 的重複精度，確保光學對準驗證的穩定與可靠。
尺寸 (mm): 1940 (L) x 851 (W) x 1732 (H)
重量: 440 Kg
適用元件: FAU, Fiber Array(FA), V-Groove(VG), MT/MMC
影像重複測量: FA, VG- 3σ≦0.05μm; MT, MMC- 3σ≦0.2um
CCD: 4508 x 4098 Pixels
PC 系統: Windows 11
量測時間: 1 – 2 秒/1 core, 1 groove
自動化XYZ三軸位移: X-軸: 100mm, Y-軸 : 4mm, Z-軸: 4mm
