超精密光學被動元件自動量測，實現 3σ ≤ 0.1 μm 的重複精度，確保光學對準驗證的穩定與可靠。
尺寸 (mm): 1940 (L) x 851 (W) x 1732 (H)
重量: 440 Kg
重複測量精度: 3σ≦0.1μm
適用元件: FAU, Fiber Array, V-Groove, MT/MMC
CCD: 5472 × 3648 Pixels
PC 系統: Windows 11
量測時間: 1 – 2 秒/1 core, 1 groove
自動化XYZ三軸位移: X-軸: 100mm, Y-軸 : 4mm, Z-軸: 4mm
